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XY轴手动奈米平台 / TADC-2PA

  • XY轴手动奈米平台 / TADC-2PA

    SIGMAKOKI 西格玛光机



    透过于 XY 轴手动平台本体上加装压电驱动器，可实现 20nm 以下的高精度微调。
    适用于需高解析度定位功能的手动平台模组。
    无需对奈米平台手动操作箱进行设定即可进行微调。
    可同时使用旋钮与微分头进行微调与粗调，互不干扰。

    *选型请参考详细规格

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  共通规格

型号系列 TADC-252W、TADC-402W、TADC-602W、TADC-652W
台面尺寸 25×25mm、40×40mm、60×60mm、65×65mm
粗调行程 ±3mm ～ ±12.5mm
微调行程 25µm以上 ～ 30µm以上
行程/周 0.5mm
微分头最小读数 0.01mm
微调最小分辨率 20nm 以下
承载能力 39.2N ～ 49N（约4.0 ～ 5.0kgf）
移动精度/直线度 3μm
最大承载力矩/俯仰 1.9N･m ～ 4.9N･m
最大承载力矩/转动 1.9N･m ～ 4.9N･m
最大承载力矩/偏摆 1.9N･m ～ 4.9N･m
扭矩刚度/俯仰 4.5″/N･cm ～ 0.6″/N･cm
扭矩刚度/转动 4.5″/N･cm ～ 0.6″/N･cm
平行度 60μm ～ 50μm
移动平行度 20μm
垂直度 10μm
自重 0.14kg ～ 0.72kg
导轨形式 TSD 导轨
主要材质 铝合金
表面处理 黑色氧化

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型号台面尺寸微分头的安装位置安装孔尺寸-------
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稳定如钢，支持如影

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