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5轴方向微调精密平台。 详情 ◦ 由 XY 轴轴承钢制平台、Z 轴薄型轴承钢制平台、θ 轴粗微调转动平台、小型 α 轴摆动平台所组成。 ◦ 型号末尾为 DC 者，其 XY 轴平台之测微头位于中央；末尾为 DS 者，测微头位于侧面。
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