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XY轴不锈钢平台 / TSDS

  • XY轴不锈钢平台 / TSDS

    SIGMAKOKI 西格玛光机


    与 TSD 系列具有相同的结构与性能，为适用于超净室或真空环境的直动平台。
    全机采用不锈钢材质，具优异耐腐蚀性。
    平台本体与微分头皆使用真空用润滑油脂（YVAC2）。
    TSDS 系列为适合在超净室或真空环境中使用的直动平台。

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  共通规格

型号系列 组成 特性
TSDS-252 台面尺寸：25×25mm
承载能力：49N（5.0kgf）
移动精度／直线度：0.5μm
移动精度／俯仰：30″
移动精度／偏摆：25″
导轨形式：TSD导轨
主要材料：不锈钢
表面处理：无		 行程：±3mm
最大承载力矩／俯仰：3.0N･m
最大承载力矩／转动：3.0N･m
最大承载力矩／偏摆：1.5N･m
扭矩刚度／俯仰：3.4″/N･cm
扭矩刚度／转动：4.0″/N･cm
扭矩刚度／偏摆：4.0″/N･cm
平行度：50μm
移动平行度：20μm
直交度：10μm
TSDS-402 台面尺寸：40×40mm
承载能力：147N（15.0kgf）
移动精度／直线度：0.5μm
移动精度／俯仰：30″
移动精度／偏摆：25″
导轨形式：TSD导轨
主要材料：不锈钢
表面处理：无		 行程：±6.5mm
最大承载力矩／俯仰：3.9N･m
最大承载力矩／转动：3.9N･m
最大承载力矩／偏摆：2.5N･m
扭矩刚度／俯仰：0.66″/N･cm
扭矩刚度／转动：0.66″/N･cm
扭矩刚度／偏摆：0.8″/N･cm
平行度：30μm
移动平行度：20μm
直交度：10μm
TSDS-602 台面尺寸：60×60mm
承载能力：343N（35.0kgf）
移动精度／直线度：0.5μm
移动精度／俯仰：25″
移动精度／偏摆：15″
导轨形式：TSD导轨
主要材料：不锈钢
表面处理：无		 行程：±6.5mm
最大承载力矩／俯仰：6.4N･m
最大承载力矩／转动：6.4N･m
最大承载力矩／偏摆：4.9N･m
扭矩刚度／俯仰：0.41″/N･cm
扭矩刚度／转动：0.41″/N･cm
扭矩刚度／偏摆：0.41″/N･cm
平行度：30μm
移动平行度：20μm
直交度：10μm
TSDS-652 台面尺寸：65×65mm
承载能力：343N（35.0kgf）
移动精度／直线度：0.5μm
移动精度／俯仰：25″
移动精度／偏摆：15″
导轨形式：TSD导轨
主要材料：不锈钢
表面处理：无		 行程：±6.5mm
最大承载力矩／俯仰：8.8N･m
最大承载力矩／转动：8.8N･m
最大承载力矩／偏摆：4.9N･m
扭矩刚度／俯仰：0.41″/N･cm
扭矩刚度／转动：0.41″/N･cm
扭矩刚度／偏摆：0.41″/N･cm
平行度：50μm
移动平行度：20μm
直交度：10μm

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