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Z轴水平台面不锈钢平台 / TSDS
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Z轴水平台面不锈钢平台 / TSDS
SIGMAKOKI 西格玛光机
与 TSD 系列具有相同的结构与性能，为适用于超净室或真空环境的直动平台。
全机采用不锈钢材质，具优异耐腐蚀性。
平台本体与微分头皆使用真空用润滑油脂（YVAC2）。
TSDS 系列为适合在超净室或真空环境中使用的直动平台。 -
规格
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数量
共通规格
| 型号系列 | 组成 | 特性 |
|---|---|---|
| TSDS-253 | 台面尺寸：25×25mm 承载能力：29.4N（3.0kgf） 移动精度／直线度：5μm 移动平行度：15μm 导轨形式：TSD导轨 主要材料：不锈钢 表面处理：无 |
行程：±3mm 最大承载力矩／俯仰：1.0N･m 最大承载力矩／转动：1.0N･m 扭矩刚度／俯仰：7.14″/N･cm 扭矩刚度／转动：7.15″/N･cm 平行度：80μm |
| TSDS-403 | 台面尺寸：40×40mm 承载能力：88.3N（9.0kgf） 移动精度／直线度：2.5μm 移动平行度：20μm 导轨形式：TSD导轨 主要材料：不锈钢 表面处理：无 |
行程：±3mm 最大承载力矩／俯仰：3.9N･m 最大承载力矩／转动：3.9N･m 扭矩刚度／俯仰：2.84″/N･cm 扭矩刚度／转动：1.84″/N･cm 平行度：80μm |
| TSDS-603 | 台面尺寸：60×60mm 承载能力：147N（15.0kgf） 移动精度／直线度：2.5μm 移动平行度：25μm 导轨形式：TSD导轨 主要材料：不锈钢 表面处理：无 |
行程：±5mm 最大承载力矩／俯仰：6.9N･m 最大承载力矩／转动：6.9N･m 扭矩刚度／俯仰：0.51″/N･cm 扭矩刚度／转动：0.51″/N･cm 平行度：80μm |
| TSDS-653 | 台面尺寸：65×65mm 承载能力：147N（15.0kgf） 移动精度／直线度：2.5μm 移动平行度：25μm 导轨形式：TSD导轨 主要材料：不锈钢 表面处理：无 |
行程：±5mm 最大承载力矩／俯仰：6.9N･m 最大承载力矩／转动：6.9N･m 扭矩刚度／俯仰：0.51″/N･cm 扭矩刚度／转动：0.51″/N･cm 平行度：80μm |
稳定如钢，支持如影
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