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X轴不锈钢平台 / TSDS
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X轴不锈钢平台 / TSDS
SIGMAKOKI 西格玛光机
与 TSD 系列具有相同的结构与性能，为适用于超净室或真空环境的直动平台。
全机采用不锈钢材质，具优异耐腐蚀性。
平台本体与微分头皆使用真空用润滑油脂（YVAC2）。
TSDS 系列为适合在超净室或真空环境中使用的直动平台，最适合用于无气体析出的狭小空间内。 -
规格
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数量
共通规格
| 型号系列 | 组成 | 特性 |
|---|---|---|
| TSDS-251 | 台面尺寸：25×25mm 承载能力：49N（5.0kgf） 移动精度／直线度：0.5μm 移动精度／俯仰：30″ 移动精度／偏摆：25″ 导轨形式：TSD导轨 主要材料：不锈钢 表面处理：无 |
行程：±3mm 最大承载力矩／俯仰：3.0N･m 最大承载力矩／转动：3.7N･m 最大承载力矩／偏摆：1.5N･m 扭矩刚度／俯仰：1.8″/N･cm 扭矩刚度／转动：1.6″/N･cm 扭矩刚度／偏摆：1.6″/N･cm 平行度：30μm 移动平行度：10μm |
| TSDS-401 | 台面尺寸：40×40mm 承载能力：147N（15.0kgf） 移动精度／直线度：0.5μm 移动精度／俯仰：30″ 移动精度／偏摆：25″ 导轨形式：TSD导轨 主要材料：不锈钢 表面处理：无 |
行程：±6.5mm 最大承载力矩／俯仰：3.9N･m 最大承载力矩／转动：3.9N･m 最大承载力矩／偏摆：2.5N･m 扭矩刚度／俯仰：0.36″/N･cm 扭矩刚度／转动：0.30″/N･cm 扭矩刚度／偏摆：0.30″/N･cm 平行度：15μm 移动平行度：10μm |
| TSDS-601 | 台面尺寸：60×60mm 承载能力：343N（35.0kgf） 移动精度／直线度：0.5μm 移动精度／俯仰：25″ 移动精度／偏摆：15″ 导轨形式：TSD导轨 主要材料：不锈钢 表面处理：无 |
行程：±6.5mm 最大承载力矩／俯仰：6.4N･m 最大承载力矩／转动：6.4N･m 最大承载力矩／偏摆：4.9N･m 扭矩刚度／俯仰：0.20″/N･cm 扭矩刚度／转动：0.20″/N･cm 扭矩刚度／偏摆：0.20″/N･cm 平行度：15μm 移动平行度：10μm |
| TSDS-651 | 台面尺寸：65×65mm 承载能力：343N（35.0kgf） 移动精度／直线度：0.5μm 移动精度／俯仰：25″ 移动精度／偏摆：15″ 导轨形式：TSD导轨 主要材料：不锈钢 表面处理：无 |
行程：±6.5mm 最大承载力矩／俯仰：8.8N･m 最大承载力矩／转动：9.8N･m 最大承载力矩／偏摆：4.9N･m 扭矩刚度／俯仰：0.20″/N･cm 扭矩刚度／转动：0.20″/N･cm 扭矩刚度／偏摆：0.20″/N･cm 平行度：30μm 移动平行度：10μm |
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