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X轴手动奈米平台 / TADC-1PA

  • X轴手动奈米平台 / TADC-1PA

    SIGMAKOKI 西格玛光机

    透过于 X 轴手动平台本体上加装压电驱动器,可实现 20nm 以下的高精度微调。
    适用于需高解析度定位功能的手动平台模组或系统。
    无需对奈米平台手动操作箱进行设定即可进行微调。
    可同时使用旋钮与微分头进行微调与粗调,互不干扰。

    *选型请参考详细规格

  • 规格

  • 数量

  共通规格

型号系列 TADC-251、TADC-401、TADC-601、TADC-651
台面尺寸 25×25mm ~ 65×65mm
粗调行程 ±3mm ~ ±12.5mm
微调行程 25µm ~ 30µm 以上
行程 / 周 0.5mm
微分头最小读数 0.01mm
手动微调最小分辨率 20nm 以下
承载能力 39.2N ~ 49N(4.0 ~ 5.0kgf)
移动精度 / 直线度 3μm
最大承载力矩 俯仰:2.0 ~ 4.9N・m
转动:1.9 ~ 4.9N・m
偏摆:1.9 ~ 4.9N・m
扭矩刚度 俯仰:0.3″ ~ 2.5″/N・cm
转动:0.25″ ~ 2.0″/N・cm
平行度 30μm
移动平行度 10μm
自重 0.07 ~ 0.36kg
导轨形式 TSD 导轨
主要材质 铝合金
表面处理 黑色氧化

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型号台面尺寸微分头的安装位置安装孔尺寸-------

稳定如钢,支持如影

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